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远源等离子溅射系统

发布时间:2018-06-23  浏览次数:76

远源等离子溅射系统不同与射频磁控溅射系统,它是通过靶材远处产生高密度等离子体完成溅射的。等离子体经PLS出口的发射电磁线圈放大,并由汇聚线圈完成等离子方向的汇聚与控制,达到完全覆盖靶材表面。靶面通过施加负偏压,在靶面全部表面形成高密度电流,靶材得到均匀的刻蚀,相对于常规磁控溅射,减少了靶中毒的现象,同时对非金属薄膜提高了沉积速率。同时可在靶材上施加直流偏压,用于溅射绝缘靶材。



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