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三路质子气体配比器

发布时间:2017-11-16  浏览次数:654

产品型号:NBD-3Z
商品简述:NBD-3Z 气体配比器 主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 
该气体配比器可以外接3种气体,采用质子型流量计,气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强.三路质子气体配比器气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.
NBD-3Z 气体配比器 主要用于气体流量测试,三路质子气体配比器并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 
该气体配比器可以外接3种气体,采用质子型流量计,三路质子气体配比器气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.
应用范围:
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备 
3.特种材料表面处理 
4.气体燃烧控制 
5.混和配气系统 
6.泄漏探测系统 
7.环境检测与分析设备 
8.分析仪器的气体流量计量与控制 

9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所 

三路质子气体配比器(NBD-3Z)主要技术参数

产品品牌

诺巴迪

产品名称

三路质子气体配比器

产品型号

NBD-3Z

流量计类型

质子流量计

流量计管芯

304不锈钢

调节阀类型

电磁调节阀

管道常态

常闭

流量计外壳

黑色铝壳

气体种类

3种

接口尺寸

1/4"

测量精度

±1.0%F.S

线性度

±0.5%F.S

重复精度

±0.2%F.S

压力范围

-0.1-0.15 MPa

A路气体测量范围

0~100SCCM

B路气体测量范围

0~200SCCM

C路气体测量范围

0~500SCCM

流量控制范围

2%~100%

零点温漂

0.6F.S(15~35℃)

响应时间

2S

工作环境温度

(15~50℃)

精度保证温度

(15~35℃)

供电电源

220V 50Hz

外形尺寸

L700×W600×H580

设备重量

43kg

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