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1200℃管式炉CVD系统

发布时间:2017-11-16  浏览次数:345

1200℃管式炉CVD系统6 CVD系列真空气氛管式炉广泛适用于高、中、低温CVD工艺,1200℃管式炉CVD系统6例如:碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等;也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理. 产品特点:       1200℃管式炉CVD系统6高温CVD系列管式炉专门设计用于高温材料沉积之用。 硅钼棒加热、刚玉炉管炉膛, 可预抽真空,便于通入参加反应的气体,进口单回路智能温度控制仪控制、温区设计隔板结构。1200℃管式炉CVD系统6具有温度均匀、控制稳定、温区间温度扰动小、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点,是理想的科研设备。 1200℃管式炉CVD系统6技术指标: 设备型号 CVD(D)-06/60/3 CVD(Z)-06/30/1 CVD(G)-07/50/2 CVD(G)-09/50/1 最高温度 1050℃ 1300℃


1200℃管式炉CVD系统6单温区经济型路气体CVD系统技术参数

1

产品名称

1200℃单温区经济型两路气体CVD系统

2

常规型号

NBD-O1200-50IC150-D2FH

3

NBD-O1200-60IC150-D2FH

4

NBD-O1200-80IC150-D2FH

5

NBD-O1200-100IC150-D2FH

6

炉膛模式

开启式

7

显示模式

高亮数码管显示(LED)

8

炉膛材料

进口纤维

9

加热元件

进口合金加热丝

10

极限温度

1200℃

11

工作温度

≤1150℃

12

升温速率

≤20℃(建议:10℃/min)

13

加热温区

单温区

14

温区长度

440mm

15

恒温区长

200mm

16

炉管材质

高纯石英

17

炉管常规直径

50mm

18

60mm

19

80mm

20

100mm

21

炉管长度

1000mm

22

密封方式

不锈钢真空法兰

23

气 密 性

真空法兰和石英炉管的气密性最高可达4.03×10-3Pa

24

控制模式

智能PID多段程序控温

25

控温精度

±1℃

26

温度曲线

多段"时间—温度曲线"任意可设

27

预存曲线

可预存1条温度曲线

28

电流监控

指针式电流计

29

电压监控

指针式电压计

30

超温报警

31

过流保护

32

断偶提示

33

测温元件

K型热电偶

34

电气认证

CE认证

35

供电电源

220V 50Hz~60Hz

36

整机功率

2.5KW

37

气体通道

可连接3种气源

38

流 量 计

浮子流量计

39

A路量程

10~100ml/min

40

B路量程

16~160ml/min

41

气路压力

-0.1~0.15 MPa

42

系统真空 

5~10Pa(需要达到其它真空度时,需选配不同的抽真空装置)

43

泵路链接

KF16不锈钢波纹管、KF16卡箍、KF16挡板阀

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真 空 计

标准配置机械真空计,也可选配电子真空计

45

售后服务

12个月质保,终身保修

46

包装形式

三合板木质包装箱

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随机配件

石英炉管、真空法兰、炉管堵塞、O型密封圈、坩埚炉钩、说明书、聚四氟管、不锈钢卡套接头、不锈钢波纹管、KF转接头、5mm内六角扳手。

48

整套尺寸

左右:700mm;前后:600mm;高度:1190mm

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