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RTP快速退火炉

发布时间:2017-11-16  浏览次数:273

产品型号:NBD-HR1200-110IT-170
商品简述:NBD HR系列高温快速热处理退火炉简称RTP。 
该产品采用国际先进制造工艺,RTP快速退火炉造型新颖结构合理; 
目前已被各种试样实验多次验证,RTP快速退火炉并已广泛用于半导体器件研发及生产等领域; 
该系统主要用于: 
1.可满足离子注入后的快速退火; 
2.也可用于欧姆接触快速合金; 
3.还可用于硅化物合金退火,RTP快速退火炉氧化物生长; 
4.以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。 
该设备是国家专利保护产品,专利号:CN201310005931.6
快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),RTP快速退火炉在吸收了国际先进生产制造工艺的基础上自主研发了该款产品,拥有独立的发明专利。RTP快速退火炉该设备不但拥有极快的升温速率500℃/S,而且在烧结工艺运行完结,直接将试样在高温区取出。实现物理状态下的最快降温。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺,RTP快速退火炉在绿色节能环保的基础上真正的实现了试样的极速升降温!
腔体采用了独有进气结构,内管进气,外管出气,RTP快速退火炉使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的利器。测温元件直接和试样接触,保证试样温度的精准性。

rtp


RTP快速退火炉主要技术参数

1

项 目

主要技术指标

数据

2

规格型号

NBD-HR1200-110IT-170

3

温度控制

最高温度点

1200℃

4

额定温度

1100℃

5

稳定状态温度范围

100~1000℃

6

温度测量精度

±0.2℃

7

温度控制重复性

±1℃

8

温度控制精确度

±1℃

9

温场均匀性

±2℃

10

温度状态工艺时间(S)

2~100(100~1000℃)

11

最快升温速率

500℃/S

12

降温速率(℃/S)

1~200(通氮气,速率更快)

13

温度控制模式

智能模糊全闭环控制

14

软件功能

操控系统

NBD-101智能系统

15

用户界面

中英文互换

16

工艺菜单编辑

触屏式图像操作界面

17

扩充端口

可扩充真空测控和FFC供气

18

看门狗

系统进入死循环时关闭主控制器

19

热电偶校准状态检测

软件校准,方便准确,软件分析传感器状态是否正常

20

超高温状态检测

软件检测出温度信息出现高温异常时,切断主回路

21


触摸屏尺寸

7"LCD

22

物理指标

最大功率

15kw

23

额定电压

AC380~400V,50Hz(60Hz定制)

24

传感器类型

S型单铂铑

25

反应腔室内径尺寸

Φ100X200mm

26

式样有效空间

3.5"

27

真空度

4.3×10-3Pa(外配分子泵)

28

抽气端口尺寸

KF16(或Φ8mm宝塔嘴)

29

供气口尺寸

Φ6.35mm双卡套

30

冷却方式

自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气:2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2) 

31

外形净尺寸(mm)

长920×深500×高560

32

重量

净重65kg