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离子溅射镀膜仪

发布时间:2017-11-16  浏览次数:305

NBD-LJ10专为扫描电镜制作样品而设计,具有结构简单、使用方便等特点。它不需要很高的真空度就可以对扫描电镜样品进行离子溅射,因此它可以作为扫描电镜样品镀膜的基本设备。

主要特点

1.采用2C静音真空泵,全面降噪,提升实验感受;

2.标配样品室真空表和溅射电流表,实时显示和监控仪器状态;

3.特殊设计的钟边缘橡胶密封圈,可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象。

4.配置溅射电流控制器和微型真空气阀。结合自动控制电路,轻松控制真空室压强、电离电流,并可任意选择所需电离气体,以获得最佳镀膜效果;

5.标配Φ58mm x 0.12mm 大尺寸纯金靶,溅射范围更大;


 

技术参数

  • 玻璃处理室:Φ105*130mm;

  • 试样台尺寸:Φ40nn可同时放6个样品;

  • 金靶尺寸:Φ58*0.12mm。

  • 真空检测:皮氏计;

  • 真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空;

  • 工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气调节 ;

  • 溅射材质:铁、钴、铒;



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