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RTP快速退火炉

发布时间:2017-11-16  浏览次数:675

产品型号:NBD-HR1200-110IT-170,RTP快速退火炉
商品简述:NBD HR系列高温快速热处理退火炉简称RTP。 RTP快速退火炉该产品采用国际先进制造工艺,造型新颖结构合理; 
目前已被各种试样实验多次验证,并已广泛用于半导体器件研发及生产等领域; 
该系统主要用于: 
1.可满足离子注入后的快速退火; 
2.也可用于欧姆接触快速合金; 
3.还可用于硅化物合金退火,氧化物生长; 
4.以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。 
该设备是国家专利保护产品,专利号:CN201310005931.6
快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),在吸收了国际先进生产制造工艺的基础上自主研发了该款产品,RTP快速退火炉拥有独立的发明专利。该设备不但拥有极快的升温速率500℃/S,而且在烧结工艺运行完结,直接将试样在高温区取出。实现物理状态下的最快降温。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺,RTP快速退火炉在绿色节能环保的基础上真正的实现了试样的极速升降温!
腔体采用了独有进气结构,内管进气,外管出气,RTP快速退火炉使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的利器。测温元件直接和试样接触,RTP快速退火炉保证试样温度的精准性。

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