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RTP快速退火炉

发布时间:2017-11-16  浏览次数:104

NBD HR系列高温快速热处理退火炉。  
该系统主要用于: 
1.可满足离子注入后的快速退火; 
2.也可用于欧姆接触快速合金; 
3.还可用于硅化物合金退火,氧化物生长; 

4.以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。 

气氛箱式炉采用闭环技术集成化模块触发控制,气氛箱式炉输出电压、电流或功率连续可调,具有恒电压、恒电流或恒功率的特性;气氛箱式炉电流环为内环,电压环为外环,在突加负载或负载电流超过限流值时,限制调压器的输出电流在额定电流范围内,气氛箱式炉确保输出和调压器正常工作;气氛箱式炉同时电压环也参与调节,使调压器的输出电流被限制在额定电流范围内,气氛箱式炉在有充分调节余量的前提下维持输出电流及电压的恒定;从而到达保护发热元件避免过大电流、电压的冲击,达到安全可靠的控制效果及控制精度。

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