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RTP快速退火炉

发布时间:2017-11-15  浏览次数:83

产品型号:RTP快速退火炉NBD-HR1200-110IT-170
商品简述RTP快速退火炉NBD HR系列高温快速热处理退火炉简称RTP。 

商品主要用于: 
1.可满足离子注入后的快速退火; 
2.也可用于欧姆接触快速合金; 
3.还可用于硅化物合金退火,氧化物生长; 
4.以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。 
该设备是国家专利保护产品,专利号:CN201310005931.6
      快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),在吸收了国际先进生产制造工艺的基础上自主研发了该款产品,拥有独立的发明专利。不但拥有极快的升温速率500℃/S,而且在烧结工艺运行完结,直接将试样在高温区取出。退火炉实现物理状态下的最快降温。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺,退火炉在绿色节能环保的基础上真正的实现了试样的极速升降温!
      腔体采用了独有进气结构,内管进气,外管出气,使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。退火炉是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的利器。测温元件直接和试样接触,保证试样温度的精准性。

rtp


RTP快速退火炉主要技术参数

型  号

最高温度

最快升温速率(℃/S)

管径(内)(mm)

处理晶片尺寸(in)

恒温区 (mm)

外形尺寸

功率(AC380V)

 

 

 

 

 

 

 

NBD-HR1200-110IT-170

1100℃

500

103

4

120

800

540

750

15kw